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电容式湿度传感器在工业领域中被广泛应用，它是利用湿敏元件的电容值随湿度变化的原理进行湿度测量的传感器。此类湿敏元件实际上是一种吸湿性电解质材料的介电常数随湿度而变化的薄片状电容器，感湿材料为聚酰铵树脂，酰根纤维素和金属氧化物等。
中能仪表强调电容式湿度传感器线性度较好，重复性好，反应快，尺寸小，滞后小，能在-10℃-60℃湿度环境下使用。但电容式湿度传感器同时存在质量问题，稳定性不理想，由于容值在单位级变化，1%RH为0.3PF,容值小的漂移就液位变速器容易造成%RH值的突变，一般在控制领域使用电容式湿敏传感器都需要慎重考虑。
电容式湿度传感器的耐温性、耐腐蚀性都不太理想，在工业领域使用中，寿命、耐温性和稳定性、抗腐蚀能力都有待于进一步提高。