扩散硅压力变送器的制造工艺介绍
    扩散硅压力变送器敏感电阻的灵敏因子比金属应变片高50~80倍,它的满量程信号输出在80-100mv左右.对接囗电路适配性好,应用成本相应较低.由于它输入激励电压低,输出信号大,且无机械动件损耗,因而分辩率极高. 扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级,膜片最大位移量在来微米数量级,且无机械磨损,无疲劳,无老化.平均无故障时间长,性能稳定,可靠性高.扩散硅压力传感器的感受\敏感转换和检测三位一体,无机械动件连接转换环节,所以不重复性和迟滞误差很小.因而传感器的线性也非常好.因此综合表态精度很高.由于敏感膜片硅材料的本身固有频率高,一般在50KC.制造过程采用了集成工艺,膜片的有效面积可以很小,配以刚性结构前置安装特殊设计,使传感器频率响应很高,使用带宽可达零频至100千赫兹.由于采用了特殊材料和装配工艺,扩散硅传感器不但可以做到130℃正常使用,在强磁场\高电压击穿试验中可抗击1500V/AC电压的冲击压力变送器.由于扩散硅材料本身优良的化学防腐性能好,即使传感器受压面不隔离,出能在普通使用中适应各种介质.硅材料又与硅油有良好的兼容性,使它在采用防腐材料隔离时结构工艺更易于实现.加之它的低电压\低电流\低功耗\低成本和本质安全防爆的特点,可替代诸多同类型的同功能产品,具有最优良的性能价格比.
用户在选用扩散硅压力变送器时,要根据自己所测压力的性质,首先应确定选择表压（相对于当地大气压）\差压\绝对压力或负压品种.如果测量液位,还要确定液位上方是自由大气压还是密封容器压力.如果测量密封承压容器内的液位就应该选用差压产品.从产品绝对安全考虑,一般选择使工作压力值在标准量程值的60%-80%为宜,整个测量系统中可能出现的异常情况所导致的过载压力不得超过产品允许的最大过载.测量动态管路液体压力时,还应考虑水垂效应,适当增大产品载量.江苏中能仪表科技有限公司产品等级按多项参数分档,档级越高,价格越贵.用户可依据所检测工况要求各项和某单项参数精度指标,以便用较低的价格实现较高的精度要求.产品给出的三项精度指标是采用国际最小二乘法或端基平移法计算的.选用传感器时.精度等级确定应根据测量系统分配发给传感器的最大误差选项取.有时还应考虑零位时漂\零位和满度温度系数带入的附加误差.通用差压传感器\变送器通常使用在高压端压力高于低压端压力的正差压情况下,虽然扩散硅传感器都可同样用于负差压,一般两引压端基本对称,但负压端一般不另标定,如用户要求两引压端高对称性,需特别告知.低压端在系统中有可能出现的超负量程使用.传感器\变送器接囗和电子壳体由多种不同的结构材料生产.具有不同的介质兼容性,为了获得最优的使用效果,不致因介质不匹配而使产品损坏,用户在选型定货时应明白介质的准确名称\浓度\温度.
中能仪表专家最后介绍到扩散硅压力变送器具有工作可靠\性能稳定\安装使用方便\体积小\重量轻\性能价格比高等点,能在各种正负压力测量中得到广泛应用.

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