质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念
质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差.MFC的工作压差范围通常为0.1～0.3MPa,若压差低于最低值(0.1 MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于最高值(0.3MPa),有可能关闭时流量不能小于2%F.S.用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定.
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