传感器在未来技术方向的方展
1.集成工艺和多变量复合传感器微结构集成制造工艺;工业控制用多变量复合传感器; 2.网络化技术和网络化传感器,使传感器具有工业化标准接口和协议功能. 3.以MEMS工艺为基础,以集成化.智能化和网络化技术为依托,加强制造工艺和新型传感器和仪表元器件的开发,使主导产品达到和接近国外同类产品的先进水平;MEMS工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺:深反应离子刻蚀(DRIE)工艺或IGP工艺;封装工艺:如常温键合倒装焊接.无应力微薄结构封装.多芯片组装工艺;以增加品种.提高质量和经济效益为主要目标,加速产业化,使国产传感器和仪表元器件的品种占有率达到70%"80%,高档产品达60%以上. 4. 智能化技术与智能传感器信号有线或无线探测.变换处理.逻辑判断.功能计算.双向通讯.自诊断等智能化技术;智能多变量传感器,智能电量传感器和各种智能传感器.变送器.
以工业控制.汽车.通讯.环保为重点服务领域,以传感器.弹性元件.光学元件.专用电路为重点对象,发展具有自主知识产权的原创性技术和产品;
推荐产品:电磁流量计,压力变送器,孔板流量计,智能传感器,超声波流量计,涡街流量计,涡轮流量计,热电偶.